TMF-02 系列模拟型微小气体质量流量计
◆ TMF-02 系列模拟型质量流量计 MFM/控制器 MFC 是由质量流量传感 器，层流分层件，流量控制器调节阀和控制电路组成，响应快，精度高，控制范围广，量程 范围为 2SCCM~300SLM，最小可以测量调节 1SCCM 的流量，可用于非常小的流量的控制。
◆ 热式原理，响应快，精度高
◆ 管状分流，不易堵塞
◆ 适用于各种低压和高压管道
◆ 预热时间短，零漂小，可靠性高
◆ 模拟量输入/输出可使用二次仪表或流量计算机控制和显示流量
产品描述
首科实华 TMF-02 系列模拟型质量流量计 MFM/控制器 MFC 是由质量流量传感 器，层流分层件，流量控制器调节阀和控制电路组成，响应快，精度高，控制范围广，量程 范围为 2SCCM~300SLM，最小可以测量调节 1SCCM 的流量，可用于非常小的流量的控制。
产品应用
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玻璃行业 |
太阳能 |
大气监测 |
工业制作 |
石油石化 |
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煤炭冶金 |
制气配气 |
环保 |
各种仪器分析 |
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流量范围 |
2SCCM～300SLM（更大及更超微小流量详询首科实华） |
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精度 |
标准精度±1.0%F.S，（有±0.5%F.S 及更高精度可选，详询首科实华） |
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线性 |
±0.5%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S |
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响应时间（标准工况下） |
MFM<1000ms; MFC<1600ms |
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模拟量输入输出选项 |
0～5V、4-20mA、1～5V、0-10V 等 |
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供电 |
±15VDC、24VDC 可选 |
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工作温度 |
0～70℃ |
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工作压力 |
MFM 压降<30Kpa；MFC 压差 0.05-0.5Mpa |
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最大耐压 |
标准耐压 1Mpa，最大耐压可选 MFC 3MPa；MFM 10MPa |
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电气连接 |
标准 DB 型 15 线、标准 DB 型 9 线可选（更多兼容接口可定制，详询首科实华） |
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本体漏露率 |
1×10-9SCCSHe |
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温度系数 |
±0.025%F.S/℃ |
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底座材质 |
316L 不锈钢 |
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密封圈选型 |
氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶、金属密封等 |
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气路接头选项 |
标准 G3/8 内螺纹（可定制卡套、快插、宝塔、快拧、VCR、法兰等多种接头） |
产品规格尺寸（30SLM 以下）
产品规格尺寸（30SLM 以上）
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